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扫描电镜观测绝缘样品时，样品荷电是常见的成像干扰问题。高能入射电子持续打在样品表面，样品本身导电能力弱，入射电荷无法快速导出，不断积聚在表层，形成局部静电场。这个电场会偏转后续入射电子束，同时改变二次电子的收集轨迹，图像上会出现大面积亮斑、明暗漂移，线条边缘出现扭曲，严重时画面闪烁，无法稳定获取形貌照片。

荷电现象的强弱，和样品厚度、电阻率、加速电压直接相关。样品越厚、绝缘性越强，电荷积累速度越快；较高的加速电压会增大电子注入量，进一步加重荷电效应。很多操作人员会选择直接降低加速电压来缓解问题，但电压过低会损失图像分辨率，无法观察精细微观结构。

常用的改善方式分为几种，对样品做喷金或者喷碳导电膜处理，在样品表层构建导电通路，把积累的电荷传导至样品台；也可以选用低真空观测模式，利用腔体内残余气体中和表面积累电荷；还可以适当减小束流、缩短单次扫描时间，减少单位面积接收的电子总量。实际观测时需要根据样品材质、目标分辨率综合选择方案，不同样品对应的处理方案效果差异较大。